Clean Room

精密洗浄設備
金属に付着した”微粒子”や”油脂”類を確実に除去します。

■ Class1000 クリーンルーム設備
■ Class 100 クリーンベンチ設備
■ 酸、アルカリ洗浄設備
■ 脱イオン水洗浄設備
■ IPA循環洗浄設備
■ 超音波洗浄設備
■ 純水製造装置
■ 真空低温乾燥炉
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Class1000 or Class100(Bench)

清浄度検査設備
液中微粒子数、不揮発性残留物(NVR)を正確に測定します。

■ Royco 液中微粒子カウンター
■ 精密電子天秤
■ 液体汚染分析キット
■ 気体汚染分析キット
■ 顕微鏡(デジタル画像撮影装置付)
■ pH・導電率計
■ ガス検知器具
■ 露点計
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液中微粒子計測

主要実績

■ 各種配管、フレキシブルホースの精密洗浄
■ 装置内流路ラインの精密洗浄
■ 各種タンク内の精密洗浄
■ ガラスサンプリング容器の精密洗浄
■ ガスケットシール類の精密洗浄
■ サンプリング液の微粒子数計測、NVR検査
■ 精密洗浄後の乾燥・露点検査